Surface adsorption and corrosion inhibition in copper CMP: A first-principles and data-driven investigation

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标题	Surface adsorption and corrosion inhibition in copper CMP: A first-principles and data-driven investigation
网址	https://doi.org/10.1016/j.surfin.2026.108417
DOI	10.1016/j.surfin.2026.108417 doi
其它	期刊：Surfaces and Interfaces 作者：Murali Ramu; Prabhu Kiran Vandranki; Patrick Joohyun Kim; Wei-Tsu Tseng; Jihoon Seo 出版日期：2026-01-01
求助人	yesterdayffy 在 2026-08-20 14:44:26 发布自上海，悬赏 10 积分
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