In Plasma ion beam analysis of polymer layer and adsorbed H monolayer etching

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标题	In Plasma ion beam analysis of polymer layer and adsorbed H monolayer etching 等离子体离子束分析聚合物层及吸附氢单层刻蚀相关领域弹性后坐力检测溅射分析化学（期刊）等离子体蚀刻（微加工）等离子体刻蚀离子束核反应分析解吸材料科学离子化学图层（电子）吸附薄膜纳米技术量子力学物理有机化学色谱法
网址	https://doi.org/10.1016/j.nimb.2024.165439
DOI	10.1016/j.nimb.2024.165439 doi
其它	期刊：Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B Beam Interactions with Materials and Atoms 作者：Louis-Charles Fortier; M. Chicoine; Simon Chouteau; Mathilde Clausse; É. Lalande; et al 出版日期：2024-06-27
求助人	polyethylene 在 2025-08-28 18:39:30 发布自上海，悬赏 10 积分
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