发布文献求助
亲爱的研友该休息了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！身体可是革命的本钱，早点休息，好梦！
待确认
  • 文献求助详情
标题
Effect of NF3, WF6, and MoF6 Additive Gases on High Aspect Ratio Contact SiO2 Etching in c-C4F8/C4F6/Ar/O2 Plasmas
相关领域
蚀刻（微加工） 材料科学 纵横比（航空） 分析化学（期刊） 纳米技术 化学 光电子学 环境化学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1021/acsaelm.4c02239
DOI
10.1021/acsaelm.4c02239 doi
其它 期刊：ACS applied electronic materials
作者：Hyun Woo Tak; Changsik Choi; Seong Bae Kim; M. Park; Jun Soo Lee; et al
出版日期：2025-02-19
求助人
研友_LaN1ln 在 2025-11-18 15:23:06 发布自湖北，悬赏 10 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. What Can We Conclude about the Real Aspect Ratios of Ice Particle Aggregates from Two-Dimensional Im...
  2. Effects of SiC contents on the microstructure and mechanical properties of Al4SiC4–SiC ceramic comp...
  3. Effect of NiAl and NiCr coatings on high cycle fatigue and corrosion behavior of direct metal laser ...
  4. Preparation and properties of Ta foil toughened high entropy (Ti0.2Zr0.2Hf0.2Nb0.2Ta0.2)B2-SiC layer...
  5. Investigate on thermal tensile of Mg-3Gd-0.5Zn alloys containing LPSO phase
  6. The Morphostructural, Compositional, and Electrochemical Characterization of Electrodeposited Nanola...
  7. Nanocrystalline NiAl-TiC Composites Sintered by the Pulse Plasma Method
  8. Elevated temperature compressive properties of reaction milled NiAl–AlN and Zr-doped NiAl–AlN comp...
  9. Porous SiC Ceramics with Multiple Pore Structure Fabricated via Gelcasting and Solid State Sintering
  10. DETERMINING QUALITY REQUIREMENTS AT THE UNIVERSITIES TO IMPROVE THE QUALITY OF EDUCATION
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 请等待求助人确认

    已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
    如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。

  • 9小时前

    传奇3 传奇3 Lv11 上传了文件

    待审核 tak-et-al-2025-effect-of-nf3-wf6-and-mof6-additive-gases-on-high-aspect-ratio-contact-sio2-etching-in-c-c4f8-c4f6-ar-o2.pdf (12.54 MB)
    温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请 提交工单 反馈。

  • 9小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    15:23:16 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    15:23:12 科研通AI机器人（新加坡）收到请求，开始寻找文献
    15:23:11 已向机器人发送请求

  • 9小时前

    研友_LaN1ln 研友_LaN1ln Lv5 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
李健的粉丝团团长的应助被ttkx采纳，获得10
刚刚
LihuaLu0417发布了新的文献求助10
1秒前
xiaosun发布了新的文献求助10
1秒前
Muddle发布了新的文献求助10
2秒前
芝芝发布了新的文献求助30
4秒前
7秒前
科研通AI6的应助被晴水采纳，获得10
11秒前
热心的豌豆完成签到 ，获得积分10
11秒前
Muddle完成签到，获得积分10
13秒前
吾系渣渣辉完成签到 ，获得积分10
26秒前
lq完成签到 ，获得积分10
27秒前
沉静从安完成签到，获得积分10
29秒前
29秒前
黄胖胖完成签到 ，获得积分10
38秒前
whh完成签到，获得积分10
40秒前
大胆面包完成签到 ，获得积分10
40秒前
包子完成签到，获得积分10
41秒前
44秒前
绿刺猬发布了新的文献求助10
48秒前
power完成签到，获得积分10
49秒前
53秒前
56秒前
科研通AI5的应助被ememem采纳，获得10
58秒前
不周发布了新的文献求助10
59秒前
1分钟前
magiczhu完成签到，获得积分10
1分钟前
加油小羊发布了新的文献求助10
1分钟前
1分钟前
1分钟前
1分钟前
每㐬山风完成签到 ，获得积分10
1分钟前
1分钟前
1分钟前
威武绝山发布了新的文献求助30
1分钟前
zz发布了新的文献求助10
1分钟前
可耐的冰萍完成签到，获得积分10
1分钟前
1分钟前
传奇3的应助被不周采纳，获得10
1分钟前
ememem发布了新的文献求助10
1分钟前
搞怪的靖雁完成签到，获得积分10
1分钟前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Fermented Coffee Market 2000
PARLOC2001: The update of loss containment data for offshore pipelines 500
A Treatise on the Mathematical Theory of Elasticity 500
Critical Thinking: Tools for Taking Charge of Your Learning and Your Life 4th Edition 500
Phylogenetic study of the order Polydesmida (Myriapoda: Diplopoda) 500
A Manual for the Identification of Plant Seeds and Fruits : Second revised edition 500
热门求助领域 （近24小时）
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 内科学 生物化学 物理 计算机科学 纳米技术 遗传学 基因 复合材料 化学工程 物理化学 病理 催化作用 免疫学 量子力学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 5253515
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4416821
关于积分的说明 13750562
捐赠科研通 4289289
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2353359
邀请新用户注册赠送积分活动 1350077
关于科研通互助平台的介绍 1309966
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通