Chemical vapour deposition of thin-film dielectrics

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标题	Chemical vapour deposition of thin-film dielectrics
网址	https://doi.org/10.1070/rc2005v074n05abeh000886
DOI	10.1070/rc2005v074n05abeh000886 doi
其它	期刊：Russian Chemical Reviews 作者：Vladislav Yu Vasilev; Sergei M Repinsky 出版日期：2005-07-20
求助人	科研小趴菜在 2026-10-24 16:04:32 发布自江苏，悬赏 10 积分
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