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 Investigating wet chemical oxidation methods to form SiO2 interlayers for self-aligned Pt-HfO2-Si gate stacks 相关领域
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Amy Brummer; Siddharth Kurup; Daniel Aziz; Michael A. Filler; Eric M. Vogel 出版日期：2023-07-10 |
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