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Growth Control Strategy of Hydrogen-Containing Nanocrystalline Carbon Films during Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition based on Molecular Dynamics-Monte Carlo Simulations 相关领域
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期刊:ACS Applied Materials & Interfaces 作者:Ju Che; Peiyun Yi; Yujun Deng; Di Zhang; Linfa Peng; et al 出版日期:2023-09-13 |
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