Critical advances in fluorine-plasma-resistant ceramic coatings for semiconductor process chambers: A review

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标题	Critical advances in fluorine-plasma-resistant ceramic coatings for semiconductor process chambers: A review
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.surfin.2026.110535
DOI	10.1016/j.surfin.2026.110535 doi
其它	期刊：Surfaces and Interfaces 作者：Haoyu Li; Jie Yang; Peng Zhang; Yicheng Wang; Yan Xing 出版日期：2026-10-01
求助人	zhai957 在 2026-10-29 17:02:44 发布自美国，悬赏 10 积分
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