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 Effect of substrate temperature on growth mechanism and properties of PEALD-MgO dielectric films for amorphous-IGZO TFTs 相关领域
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期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Zhan-Bo Su; Xiaoying Zhang; Xiao Lin; Xiaolong Li; Cheng-Xiang Quan; et al 出版日期：2024-04-21 |
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