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Ultralow-Capacitance Through-Silicon Vias With Annular Air-Gap Insulation Layers 具有环形气隙绝缘层的超低电容硅通孔
相关领域
电容
材料科学
苯并环丁烯
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硅
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期刊:IEEE Transactions on Electron Devices 作者:Qianwen Chen; Cui Huang; Dong Wu; Zhimin Tan; Zheyao Wang 出版日期:2013-02-26 |
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