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(Invited) Challenges on Surface Conditioning in 3D Device Architectures: Triple-Gate FinFETs, Gate-All-Around Lateral and Vertical Nanowire FETs
网址
https://syndication.highwire.org/content/doi/10.1149/08002.0...
DOI
10.1149/08002.0003ecst doi
其它 期刊：ECS Transactions
作者：Anabela Veloso; Vasile Paraschiv; Emma Vecchio; Katia Devriendt; Waikin Li; et al
出版日期：2017-10-17
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dlindl 在 2026-07-22 16:49:05 发布自美国，悬赏 10 积分
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