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Evaluation of carbon nanotube probes in critical dimension atomic force microscopes
网址
https://doi.org/10.1117/1.jmm.15.3.034005
DOI
10.1117/1.jmm.15.3.034005 doi
其它 期刊：J Micro Nanolithogr MEMS MOEMS
作者：Choi J, Park BC, Ahn SJ, Kim DH, Lyou J, Dixson RG, Orji NG, Fu J, Vorburger TV
出版日期：2016-07-01
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胖玻璃球 在 2026-07-08 19:04:13 发布自河北，悬赏 20 积分
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