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标题
High-rate deposition of ultra-thick silver film by hollow cathode magnetron sputtering
相关领域
材料科学 高功率脉冲磁控溅射 溅射沉积 阴极 腔磁控管 磁铁 溅射 沉积(地质) 光电子学 多物理 复合材料 薄膜 纳米技术 电气工程 有限元法 古生物学 物理 工程类 沉积物 生物 热力学
网址
DOI
10.1016/j.vacuum.2023.112034 doi
其它 期刊:Vacuum
作者:Jantao Tan; Jun Wang; Qing Cao; Hailin Bi; Jun Wu; et al
出版日期:2023-03-22
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