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标题
Machine learning-based 3D resist model
相关领域
抵抗 计算机科学 平版印刷术 人工神经网络 人工智能 光刻 计算机视觉 材料科学 图层(电子) 纳米技术 光电子学
网址
DOI
10.1117/12.2257904 doi
其它 期刊:Proceedings of SPIE
作者:Seongbo Shim; Suhyeong Choi; Youngsoo Shin
出版日期:2017-03-30
求助人
枫竹 在 2026-02-09 09:02:07 发布自湖北,悬赏 20 积分
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