Effects of external parameters on plasma characteristics and uniformity in a dual cylindrical inductively coupled plasma

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标题	Effects of external parameters on plasma characteristics and uniformity in a dual cylindrical inductively coupled plasma 外部参数对双圆柱电感耦合等离子体特性和均匀性的影响相关领域感应耦合等离子体等离子体对偶（语法数字）电感耦合等离子体质谱法材料科学化学色谱法物理核物理学质谱法文学类艺术
网址	https://doi.org/10.1088/2058-6272/ad73aa
DOI	10.1088/2058-6272/ad73aa doi
其它	期刊：Plasma Science & Technology 作者：Pengyu 鹏宇 WANG 王; Siyu 思雨 XING 邢; Daoman 道满 HAN 韩; Yuru 钰如 ZHANG 张; Yong 永 LI 李; et al 出版日期：2024-08-26
求助人	含糊的雨安在 2025-05-18 17:07:19 发布自上海，悬赏 10 积分
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