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标题
Dependence of Optical Emission Spectra on Argon Gas Pressure during Modulated Pulsed Power Magnetron Sputtering (MPPMS)
调制脉冲功率磁控溅射(MPPMS)过程中光发射光谱与氩气压力的关系
相关领域
氩 脉冲直流 腔磁控管 溅射 等离子体 溅射沉积 发射光谱 分析化学（期刊） 材料科学 波形 原子物理学 谱线 化学 薄膜 电压 物理 纳米技术 量子力学 色谱法 天文
网址
https://www.mdpi.com/2571-6182/4/2/18/pdf?version=1621490166
AI链接 mdpi.com mdpi.com doaj.orgdoi.org
DOI
10.3390/plasma4020018 doi
其它 期刊：Plasma
作者：Masaomi Sanekata; Hiroshi NISHIDA; Yuki Nakagomi; Yoshihiro Hirai; Nobuo Nishimiya; et al
出版日期：2021-05-19
求助人
凌云 在 2025-07-08 18:24:25 发布，悬赏 10 积分
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