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Plasma-enhanced atomic layer deposition and etching of high- k gadolinium oxide
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网址
https://pubs.aip.org/avs/jva/article-pdf/doi/10.1116/1.36647...
DOI
10.1116/1.3664756 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
作者：Steven A. Vitale; Peter W. Wyatt; Chris J. Hodson
出版日期：2011-12-06
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水循环 在 2026-09-15 09:27:53 发布自上海，悬赏 10 积分
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