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Morphological control of nanostructured Ge films in high Ar-gas-pressure plasma sputtering process for Li ion batteries 锂离子电池高气压等离子体溅射过程中纳米结构锗薄膜的形貌控制
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期刊:Japanese Journal of Applied Physics 作者:Junki Hayashi; Kenta Nagai; Yuma Habu; Yumiko Ikebe; Mineo Hiramatsu; et al 出版日期:2021-09-29 |
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