Si-cap-free SiGe p-channel FinFETs and gate-all-around transistors in a replacement metal gate process: Interface trap density reduction and performance improvement by high-pressure deuterium anneal

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标题	Si-cap-free SiGe p-channel FinFETs and gate-all-around transistors in a replacement metal gate process: Interface trap density reduction and performance improvement by high-pressure deuterium anneal
网址	https://doi.org/10.1109/VLSIT.2015.7223654
DOI	10.1109/VLSIT.2015.7223654 doi
其它	期刊：2015 Symposium on VLSI Technology (VLSI Technology) 作者：H. Mertens; R. Ritzenthaler; H. Arimura; J. Franco; F. Sebaai; et al 出版日期：2015
求助人	哭泣的如豹在 2026-04-22 21:17:30 发布自上海，悬赏 10 积分
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