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Epitaxial growth of highly stacked SiGe(:B)/Si multilayers without strain relaxation for vertically stacked device applications 相关领域
材料科学
外延
亚稳态
拉伤
光电子学
化学气相沉积
硼
放松(心理学)
制作
兴奋剂
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半导体
微观结构
凝聚态物理
硅
薄膜
透射电子显微镜
变形(气象学)
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金属有机气相外延
电子迁移率
动力学蒙特卡罗方法
结晶学
高分辨率透射电子显微镜
纳米结构
应变工程
纳米技术
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期刊:Materials Today 作者:Dongmin Yoon; Seonwoong Jung; Hyerin Shin; Seokmin Oh; Jungwoo Kim; et al 出版日期:2025-12-30 |
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