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标题
Temporary Wafer Bonding by Polyelectrolyte Interlayers
网址
DOI
10.1149/ma2014-02/34/1731 doi
其它 期刊:ECS Meeting Abstracts
作者:Marko Eichler; Helena Dillmann; Leo Clemens Reim; Michael Thomas; Claus-Peter Klages
出版日期:2014-08-05
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