Full Chip Backside Delayering of 10 nm Node Integrated Circuits with Chemically Assisted Focused Ion Beam Deprocessing

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标题	Full Chip Backside Delayering of 10 nm Node Integrated Circuits with Chemically Assisted Focused Ion Beam Deprocessing
网址	http://dx.doi.org/10.31399/asm.edfa.2025-1.p003
DOI	10.31399/asm.edfa.2025-1.p003 doi
其它	期刊：EDFA Technical Articles 作者：Michael DiBattista; Ata Tafazoli Yazdi; Jonathan Sheeder; Scott Silverman; Robert Chivas 出版日期：2025-02-01
求助人	Sz1 在 2026-07-14 10:10:59 发布自北京，悬赏 10 积分
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