Multi-Frequency Imaging with a CMOS Compatible Scandium Doped Aluminum Nitride PMUT Array

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标题	Multi-Frequency Imaging with a CMOS Compatible Scandium Doped Aluminum Nitride PMUT Array
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/9375130/9375148/09375183...
DOI	10.1109/mems51782.2021.9375183 doi
其它	期刊：2021 IEEE 34th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 作者：Margo Billen; Hang Gao; Dries Tabruyn; Eloi Marigo; Mohan Soundara-Pandian; et al 出版日期：2021-03-16
求助人	笑面客在 2026-04-03 17:10:33 发布自美国，悬赏 10 积分
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