Cycloalkyl Ligand-Engineered Zirconium–Oxo Clusters for Sub-9 nm Electron Beam Lithography with Ultralow Line Edge Roughness - 科研通

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标题	Cycloalkyl Ligand-Engineered Zirconium–Oxo Clusters for Sub-9 nm Electron Beam Lithography with Ultralow Line Edge Roughness
网址	http://dx.doi.org/10.1021/jacs.6c03438
DOI	10.1021/jacs.6c03438 doi
其它	期刊：Journal of the American Chemical Society 作者：Min Zhang; Wenzheng Li; Zihan Lian; Zijian Chen; Daohan Wang; et al 出版日期：2026-06-18
求助人	六六在 2026-07-08 17:52:26 发布自河南，悬赏 10 积分
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