Chemisorption of tetrakis(dimethylamido)hafnium on hydroxylated HfO2: A comparative theoretical study with Zr and Ti precursors

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标题	Chemisorption of tetrakis(dimethylamido)hafnium on hydroxylated HfO2: A comparative theoretical study with Zr and Ti precursors
网址	http://dx.doi.org/10.1116/6.0005012
DOI	10.1116/6.0005012 doi
求助人	limo 在 2026-04-23 15:46:15 发布自上海，悬赏 10 积分
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