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Annealing effect on ITO films prepared by DC magnetron sputtering 退火对直流磁控溅射ITO薄膜的影响
相关领域
材料科学
退火(玻璃)
薄板电阻
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溅射沉积
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期刊:Materials Science and Technology 作者:Jianjun Yang 出版日期:2008-01-01 |
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