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标题
Epi Source/Drain Damage Mitigation with Inner Spacer and Buffer Optimization in Stacked Nanosheet Gate-All-Around Transistors
网址
https://doi.org/10.7567/ssdm.2023.f-7-02
DOI
10.7567/ssdm.2023.f-7-02 doi
其它 期刊：Extended Abstracts of the 2023 International Conference on Solid State Devices and Materials
作者：C. Durfee; Ivo Otto; Subhadeep Kal; S. Pancharatnam; Matthew Flaugh; et al
出版日期：2023-09-08
求助人
Hamil 在 2026-09-22 21:44:53 发布自美国，悬赏 10 积分
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    Hamil Hamil Lv11 求助人 发起了本次求助

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