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Complementary Studies of Aluminum Thin Films: Resistivity and Real Structure 相关领域
材料科学
电阻率和电导率
反射计
铝
薄膜
溅射沉积
复合材料
腔磁控管
沉积(地质)
电阻和电导
扩展阻力剖面
扫描电子显微镜
晶间腐蚀
薄板电阻
表征(材料科学)
溅射
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航程(航空)
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期刊:Russian Microelectronics 作者:A. A. Lomov; M. A. Tarasov; K. D. Shcherbachev; A. A. Tatarintsev; A. M. Chekushkin 出版日期:2025-10-01 |
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