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Synthesis Conditions and Properties of SiAlCN Coatings Obtained by Reactive Evaporation of Al in a Hollow Cathode Arc Discharge in Hexamethyldisilazane Vapors 六甲基二硅氮烷蒸气中空阴极电弧放电反应蒸发Al获得的SiAlCN涂层的合成条件和性能
相关领域
蒸发
阴极
材料科学
电弧
弧(几何)
化学工程
复合材料
化学
电极
物理化学
机械工程
热力学
工程类
物理
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期刊:Ceramics 作者:A. I. Men’shakov; Yulia Bryuhanova; Ivan S. Zhidkov; D. R. Emlin; П. А. Скорынина 出版日期:2025-04-22 |
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(2025-6-4)