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Measuring the Future – Nanometrology for Advanced Manufacturing of Miniaturized Devices 测量未来——用于小型化器件先进制造的纳米计量
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期刊:Advanced Functional Materials 作者:Madhurya Chandel; Andreas Rosenkranz; Daniel Moraru; Adam Woźniak; Agnieszka Jastrzębska 出版日期:2025-10-01 |
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