"Three-Color" Chemical Selectivity between Oxide, Nitride, and Silicon: Area-Selective Deposition of Metal Oxide and Polymer on SiN and Si-H versus SiO2

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标题	"Three-Color" Chemical Selectivity between Oxide, Nitride, and Silicon: Area-Selective Deposition of Metal Oxide and Polymer on SiN and Si-H versus SiO2
网址	https://doi.org/10.1002/admt.202500284
DOI	10.1002/admt.202500284 doi
其它	期刊：Adv Mater Technol 作者：Thelven JM, Margavio HRM, Oh H, Efaw CM, Davis PH, Graugnard E, Parsons GN 出版日期：2025-08-23
求助人	义气博超在 2026-09-07 15:44:10 发布自江苏，悬赏 10 积分
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