Attenuated phase shift mask for extreme ultraviolet: can they mitigate three-dimensional mask effects? - 科研通

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标题	Attenuated phase shift mask for extreme ultraviolet: can they mitigate three-dimensional mask effects?
网址	http://dx.doi.org/10.1117/1.jmm.18.1.011005
DOI	10.1117/1.jmm.18.1.011005 doi
其它	期刊：Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS 作者：出版日期：2018-08-11
求助人	dd1015 在 2026-09-23 16:23:17 发布自吉林，悬赏 20 积分
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