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 Overcoming metal-rich surface chemistry limitations of ScAlN for high electrical performance heterostructures 克服ScAlN的富金属表面化学限制用于高电性能异质结构
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期刊：Journal of Applied Physics 作者：Zachary Engel; Keisuke Motoki; Christopher M. Matthews; W. Alan Doolittle 出版日期：2022-11-08 |
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