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 Oxidation-State-Dependent Selective Atomic Layer Etching of Metal Oxides 金属氧化物的氧化态依赖性选择性原子层刻蚀
相关领域
材料科学
蚀刻（微加工）
图层（电子）
金属
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氧化物
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化学
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期刊：ACS Applied Materials & Interfaces 作者：Jeongbin Lee; Jae Hong Noh; Jung‐Tae Kim; Dongjun Lee; Ji Hyeon Choi; et al 出版日期：2025-06-23 |
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