Impact of ion species on ion beam sputtered Ta2O5 layer quality parameters and on corresponding process productivity: A preinvestigation for large-area coatings

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标题	Impact of ion species on ion beam sputtered Ta2O5 layer quality parameters and on corresponding process productivity: A preinvestigation for large-area coatings
网址	https://pubs.aip.org/avs/jva/article-pdf/doi/10.1116/6.00012...
DOI	10.1116/6.0001224 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science and Technology 作者：W. Sakiew; P. Schwerdtner; M. Jupé; A. Pflug; D. Ristau 出版日期：2021-12-01
求助人	szf 在 2026-09-23 16:11:31 发布自山东，悬赏 10 积分
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