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 Investigation of Patterned Plasma Etching Processes for HJT-IBC Solar Cells: Keys to Maintaining a High Electronic Quality Surface HJT-IBC太阳能电池图案化等离子体蚀刻工艺的研究：保持高电子质量表面的关键
相关领域
蚀刻（微加工）
等离子体
等离子体刻蚀
质量（理念）
光电子学
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| 其它 |
期刊：Solar Energy Materials and Solar Cells 作者：Junkang Wang; Chandralina Patra; Weixi Wang; Monalisa Ghosh; Pavel Bulkin; et al 出版日期：2025-04-18 |
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