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标题
Data augmentation in extreme ultraviolet lithography simulation using convolutional neural network
基于卷积神经网络的极紫外光刻仿真数据扩充
相关领域
卷积神经网络 计算机科学 振幅 衍射 算法 深度学习 训练集 人工神经网络 人工智能 模式识别（心理学） 光学 物理
网址
https://doi.org/10.1117/1.jmm.21.4.041602
AI链接 spiedigitallibrary.orgdoi.org
DOI
10.1117/1.jmm.21.4.041602 doi
其它 期刊：Journal of Micro/Nanopatterning Materials and Metrology
作者：Hiroyoshi Tanabe; Atsushi Takahashi
出版日期：2022-10-14
求助人
hero_ljw 在 2025-06-20 19:35:30 发布自吉林，悬赏 20 积分
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