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 Optimization of photoresist plating mold fabrication for metal mask patterning 金属掩模图案化光刻胶电镀模具制造的优化
相关领域
材料科学
光刻胶
蚀刻（微加工）
硼硅酸盐玻璃
电镀（地质）
制作
光电子学
接触电阻
反应离子刻蚀
各向同性腐蚀
复合材料
光刻
欧姆接触
纳米技术
图层（电子）
地质学
病理
替代医学
医学
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者：Doreen Hii; Daryosh Vatanparvar; Andrei M. Shkel 出版日期：2021-03-01 |
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