| 标题 |
 Impacts of different thickness Al2O3 and SiO2 atomic layer deposition sidewall passivation for GaN-based micro-LEDs 相关领域
材料科学
钝化
原子层沉积
发光二极管
图层（电子）
光电子学
沉积（地质）
电致发光
宽禁带半导体
泄漏（经济）
纳米技术
量子效率
退火（玻璃）
制作
电子工程
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| 其它 |
期刊：Journal of vacuum science and technology 作者：Zongmin Lin; Jinhua Zhang; Shaohang Cai; Meixiu Wan; Hui Xiong; et al 出版日期：2025-09-01 |
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(2025-6-4)
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