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  Comparative study of the thermal stability of Be-based extremeultraviolet pellicles Be基极紫外薄膜热稳定性的比较研究
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期刊：Журнал технической физики 作者：Zuev S. Yu.; Lopatin A. Ya.; В. И. Лучин; Н. Н. Салащенко; D. A. Tatarskiy; et al 出版日期：2022-01-01 |
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