Integrated Test Pattern Extraction and Generation for Accurate Lithography Modeling

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标题	Integrated Test Pattern Extraction and Generation for Accurate Lithography Modeling 相关领域模式识别（心理学）特征提取计算机科学平版印刷术抵抗特征（语言学）特征向量人工智能聚类分析光学接近校正算法光学材料科学图层（电子）复合材料哲学物理语言学
网址	https://doi.org/10.1109/tsm.2022.3184412
DOI	10.1109/tsm.2022.3184412 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 作者：Gangmin Cho; Yonghwi Kwon; Pervaiz Kareem; Youngsoo Shin 出版日期：2022-06-20
求助人	晓希凝安在 2026-01-05 07:48:36 发布自河北，悬赏 10 积分
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