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 Elimination of Space Charge Effects in Passivation Films: The Key to Substantially Enhancing the Dielectric Properties of Tantalum Oxide Films 消除钝化膜中的空间电荷效应：大幅提高氧化钽膜介电性能的关键
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期刊：Journal of Materials Chemistry C 作者：Jiping Zhao; Jingjing Liu; Xiaoxuan Zhu; Beibei Wang; Hongbing Cai; et al 出版日期：2025-01-01 |
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