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 Low-loss edge coupler for thin-film lithium niobate based on wafer-scale photolithography 基于晶圆级光刻的铌酸锂薄膜低损耗边缘耦合器
相关领域
材料科学
铌酸锂
光刻
平版印刷术
薄脆饼
耦合损耗
光电子学
光学
薄膜
蚀刻（微加工）
波长
光纤
图层（电子）
纳米技术
物理
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| 其它 |
期刊： 作者：Xiaowen Gu; Jie Tang; Jiangping Dai; Chenquan Wang; Guang Qian; et al 出版日期：2024-12-05 |
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