GPU-Accelerated Inverse Lithography Towards High Quality Curvy Mask Generation

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标题	GPU-Accelerated Inverse Lithography Towards High Quality Curvy Mask Generation 相关领域平版印刷术反向质量（理念）计算机科学材料科学环境科学光电子学物理数学几何学量子力学
网址	http://dx.doi.org/10.48550/arXiv.2411.07311
DOI	10.48550/arXiv.2411.07311 doi
求助人	lll 在 2026-08-25 09:27:41 发布自中国，悬赏 10 积分
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