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标题
LPCVD Si2H6-Base a-Si Film within Wafer Uniformaty Study
网址
http://xplorestaging.ieee.org/ielx8/11537272/11537404/115375...
DOI
10.1109/cstic68613.2026.11537575 doi
其它 期刊：2026 Conference of Science and technology of Integrated Circuits (CSTIC)
作者：Ying Zhang; Yan Sun; Zhengdao Liu
出版日期：2026-06-03
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顺心雪卉 在 2026-09-03 11:38:12 发布，悬赏 10 积分
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    顺心雪卉 顺心雪卉 Lv12 求助人 发起了本次求助

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