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标题
Growth Characteristics of CVD Beta‐Silicon Carbide
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DOI
10.1149/1.2100359 doi
其它 期刊:Journal of The Electrochemical Society
作者:D. J. Cheng; W. J. Shyy; D. H. Kuo; M. H. Hon
出版日期:1987-12-01
求助人
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