A novel slurry for ultra-smooth chemical mechanical polishing of TC4 titanium alloy

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标题	A novel slurry for ultra-smooth chemical mechanical polishing of TC4 titanium alloy TC4钛合金超光滑化学机械抛光用新型浆料相关领域泥浆抛光化学机械平面化钛合金材料科学合金冶金钛复合材料
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2024.162167
DOI	10.1016/j.apsusc.2024.162167 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Longxing Liao; Feng Cai; Xuefeng Chang; Zhao ChengBin; Jingyu Mo; et al 出版日期：2024-12-01
求助人	五音在 2025-05-17 14:12:10 发布自吉林，悬赏 20 积分
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