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标题
Measurements of time varying plasma potential, temperature, and density in a 13.56 MHz radio-frequency discharge
网址
https://pubs.aip.org/avs/jva/article-pdf/7/3/972/11447408/97...
DOI
10.1116/1.575830 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
作者：Jeffrey L. Wilson; J. B. O. Caughman; Phi Long Nguyen; D. N. Ruzic
出版日期：2002-07-27
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dreamer 在 2026-07-28 19:10:20 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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