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 Robust incident angle calibration of angle-resolved ellipsometry for thin film measurement 用于薄膜测量的角分辨椭偏仪的鲁棒入射角校准
相关领域
光学
材料科学
校准
椭圆偏振法
折射率
全内反射
薄膜
物理
量子力学
纳米技术
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期刊：Applied Optics 作者：Lihua Peng; Dawei Tang; Jian Wang; Rong Chen; Feng Gao; et al 出版日期：2021-04-13 |
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