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Simultaneous multi-point glass processing using diffractive optical element and KrF excimer laser 相关领域
准分子激光器
材料科学
光学玻璃
光学
准分子
激光器
光电子学
物理
复合材料
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| DOI |
10.1117/12.3051518
doi
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| 其它 |
期刊:Advanced Lithography 作者:Akira Suwa; Tomonari Tanaka; Yasuhiro Adachi; Y. Kawasuji 出版日期:2025-04-23 |
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(2025-6-4)