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Low-energy electron interaction with 2-(trifluoromethyl)acrylic acid, a potential component for EUVL resist material
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网址
https://doi.org/10.1039/d3cp01860a
DOI
10.1039/d3cp01860a doi
其它 期刊：Physical Chemistry Chemical Physics
作者：Reza Tafrishi; D. Torres-Díaz; L. Amiaud; A. Lafosse; Oddur Ingólfsson
出版日期：2023-01-01
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Happyable 在 2026-01-05 10:21:12 发布自湖北，悬赏 10 积分
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